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中图仪器的SJ6000国产双频激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现平行度、线性测长、直线度、垂直度、角度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
SJ6000双频激光干涉仪量程精度高,可以弃普通车间进行应用,环境适应能力强,同时可进行动态高速测量,配以相应元件后还可以测量线速度、角度、平面度、振动幅度及速度等。
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