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SJ6000机床激光干涉仪对机床运动导轨和滚珠丝杆的各项参数检测分析、校准补偿具有重要性,而机床在装配、加工、生产的同时需要频繁的使用到激光干涉仪,来进行多种几何量精度参数的测量以及动态性能的测试、分析。
SJ6000机床激光干涉仪品牌除了环境适应能力好,还可以进行动态高速测量,选配相应的功能模块元件后可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动
以激光干涉技术为核心,SJ6000激光干涉仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。有测量机床回转轴精度、直线度、线性、运动导轨的俯仰角、扭摆角、定位精度、垂直度等检测功能,且可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
中图仪器的SJ6000国产双频激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现平行度、线性测长、直线度、垂直度、角度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下,还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
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