SuperViewW1三维白光光学轮廓测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

中图仪器3d光学轮廓仪检测仪SuperViewW1以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperView W1-Pro3d轮廓形貌扫描仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式设计，隔离地面震动与噪声干扰。

SuperViewW1光学3D轮廓测量仪是一款用于精密器件及材料表面的亚纳米级测量的检测仪器。只需要操作者装好被测工件，在软件里设好视场参数，把物镜调节到被测工件表面，选择自动聚焦后，仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像，一键输出反映工件表面质量的2D、3D参数，完成工件表面形貌一键测量。

SuperViewW1光学3D表面轮廓检测仪是以白光干涉技术为原理的白光干涉仪，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测，具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。基于白光干涉原理，不仅用于零件的检测，还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备，能完成缺陷尺寸的在线检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车

中图仪器三维光学表面轮廓测量仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

W1三维光学表面轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

中图仪器光学表面3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。