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白光干涉仪系统构造介绍

发布时间:2021-11-09      点击次数:129
   白光干涉轮廓仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:
  表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等)。
  几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。
  白光干涉仪是目前三维形貌测量领域精度最高的检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
  白光干涉仪由以下几部分构成:
  1、光学照明系统采用卤素光源,其中心波长为576纳米,光谱范围从340纳米到780纳米。
  2、光学成像系统采用无限远光学成像系统,由显微物镜和成像目镜组成。垂直扫描控制系统由压电陶瓷以及控制驱动器构成,采用闭环反馈控制方法,可精密驱动显微物镜上下移动,移动范围100mm。位置移动精度为0.1纳米。
  3、信号处理系统信号处理系统是该仪器的核心部分,由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。
  4、应用软件主要由操作控制部分,结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时,以三维立体,二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。
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