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国产白光干涉仪

简要描述:基于白光干涉原理,中图仪器自主研发生产的SuperViwe W1国产白光干涉仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,让3D测量变得简单。广泛应用于3C电子、微纳米材料、微机电、光学加工、半导体、超精密加工等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。

  • 更新时间:2022-04-12
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:1898

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
外形尺寸(900x700x604)mm重量150kg
应用领域环保,化工,能源,航天,汽车光源白光/绿光LED
影像系统1024x1024标准视场(0.98x0.98)mm
XY移动平台尺寸(300x300)mmZ向行程100mm电动
Z向扫描范围10mm可测样品反射率0.05%~100%
台阶测量准确度0.7%台阶测量重复性0.1%1σ

白光干涉仪是3D检测领域中高精度的精密测量仪器之一,特别是在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域。市场中的国外白光干涉仪品牌,因为价格昂贵,让很多企业望而却步,品质和售后也是参差不齐。做的好的国产白光干涉仪不多,中图仪器自主研发生产的SuperView W1白光干涉仪算一个。


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SuperView W1白光干涉仪跟国外的zygo白光干涉仪对标,品质和售后也有保障,更大的优势是软件方面。基于白光干涉原理,中图仪器自主研发生产的SuperViwe W1白光干涉仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其*的3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。


产品参数

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标准配置

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可选配置

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产品特点

1、参数测量:粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积、一网打尽;

2、环境噪声检测:实时监测,纳米波动,也无可藏匿;

3、双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石"也能安然无恙;

4、自动拼接:3轴光栅闭环反馈,让3D拼接“天衣无缝";

5、双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动"。


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性能特征

1、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统,以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统,保证了测量精度和测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计,可视化窗口,结合自定义分析模板的自动化测量功能,实现了快速批量测量的功能,自动完成多区域的测量与分析过程。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

(1)软件防撞保护ZSTOP

即在Z轴上设置停止位,设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离,当镜头运动到该位置时,就立刻停止不再向下运动,起到保护样品和镜头的作用。

(2)Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品,也守护每一分价值和信任。


应用领域

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中图仪器研发生产的SuperView W1国产白光干涉仪让轮廓测量价格更为实惠,分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形情况、腐蚀情况、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


深圳市中图仪器股份有限公司是高新技术企业,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。经过十多年在几何量测量领域的潜心研究,设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量,为用户提供专业的精密测量解决方案。


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