VT6000双重防撞共聚焦显微镜通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
中图仪器钨灯丝扫描电镜SEM全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列台式扫描电镜,不仅拥有强大的抗振性能和高效的工业应用能力,而且操作灵活和成像质量可靠,在现代制造业中为用户带来突破性的检测解决方案。
中图仪器白光干涉光学粗糙度检测仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
中图仪器金属材料扫描电镜SEM无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。此外,该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中,该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术,展现出色的性能。
中图仪器台式桌面扫描电镜仪器CEM3000全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B基于复合抗振手段,专为振动环境设计,抽气更快(低真空仅40秒),成像更稳定,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度。
NS系列台阶仪精密测量仪器台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。