VT6000共聚焦三维形貌显微测量仪以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

中图仪器3D白光干涉显微测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

CEM3000高分辨率国产台式扫描电镜操作系统简便，使用过程简单快捷。样品一键装入，自动导航和一键出图能力（自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度）帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像，大大提升了使用效率。

CEM3000系列桌面式多功能实时能谱扫描电镜高易用性快速成像、一键成片，无需过多人工调节。超高分辨率优于4nm(SE)，优于8nm(BSE)@20kV，超大景深毫米级别景深，具有高空间分辨率。

NS系列薄膜台阶测厚仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度等。

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