您好!欢迎访问深圳市中图仪器股份有限公司网站!
全国服务咨询热线:

18928463988

Products产品中心
首页 > 产品中心 > 光学3D表面轮廓仪 > 光学3D轮廓仪 > 光学表面3d轮廓测量仪

光学表面3d轮廓测量仪

简要描述:中图仪器光学表面3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器,用于表面形貌纹理,微观结构分析,用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。

  • 更新时间:2022-08-18
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:510

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域食品,农业,能源,航天,综合

在芯片封装测试流程中,晶圆减薄和晶圆切割工艺需要测量晶圆膜厚、粗糙度、平整度(翘曲),晶圆切割槽深、槽宽、崩边形貌等参数。


中图仪器SuperViewW1光学表面3d轮廓测量仪针对芯片封装测试流程的测量需求,X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。


光学3D表面轮廓测量仪.jpg


技术参数(部分)

Z向分辨率:0.1nm

横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重复性:0.1nm

表面形貌重复性:0.1nm

台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%

注释:更多详细参数,可联系我们获取。


光学表面3D轮廓仪具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。接触式和光学三维轮廓仪的结合,既可以用于科学研究,也可以用于工业产品的检测。


对wafer减薄后无图晶圆粗糙度测量:

光学3D表面轮廓测量仪.jpg

封装制程中对Wafer的切割:

光学3D表面轮廓测量仪.jpg

对Die的轮廓分析及蚀刻深度测量:

光学3D表面轮廓测量仪.jpg


结果组成

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。


中图仪器光学表面3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器,用于表面形貌纹理,微观结构分析,用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信

版权所有 © 2022 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网