一、激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。二、激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个...

三坐标测量机测量精度高、效率高，广泛应用在精密加工检测领域。它与数控机床是保证工件测量与加工精度的关键设备。其中作为高精度的测量基准，几何误差的快速、高精度检测技术都是三坐标测量机性能提升的关键。三坐标测量机运行速度的加快，动态误差往往会比...

白光干涉仪能测什么？有着“纳米眼”之称的白光干涉仪，是一款在纵向分辨率上可实现0.1nm的分辨率和测量可靠性的光学测量仪器。下面就让我们一起来领略下国产白光干涉仪镜头下的3D显微之美。SuperViewW1白光干涉仪白光干涉仪采用的光学轮廓...

激光跟踪仪是一种空间大尺寸三维坐标精密测量的先进几何量仪器，不仅可以对静止的空间目标进行高精度三维测量，还可以对运动的目标进行跟踪测量，是大尺寸精密测量的主要手段。系统由PC、控制主机、跟踪站、目标镜等组成。激光跟踪仪集合了精密机械技术、计...

3d轮廓扫描仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，终还原出工件轮廓信息、粗糙度信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓、粗糙度进...

工程机械作为工程建设中的重要工具，施工过程中长期承受各种外力，因此对各结构件质量要求很高，检测十分严格，通常要求的公差在0.1mm～0.2mm以内。工程机械部件外形尺寸及重量通常较大，常规仪器无法有效满足检测需求，GTS激光跟踪仪作为大尺寸...

近年来，面对持续高涨的芯片需求，半导体行业生产迎来了高难度挑战——对芯片工艺要求更精细，从5nm到3nm，甚至是2nm。“先进封装”的提出，是对技术的新要求，也是对封装工艺中材料和设备的全新考验。芯片身上布控着几千万根晶体管，而晶体管越小，...

目前，在几何量测量中最重要的激光技术是用广电转换条纹计数等方法来测量长度，这种方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接触测量及自动测量等优点。基于激光干涉仪技术的精密角度测量系统，通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的...