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要想更好的使用白光干涉仪以下维护不可缺少!

发布时间:2021-12-20      点击次数:48
 
  白光干涉仪是目前三维形貌测量领域精度最高的检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
  是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米),所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量精度之高是任何其他测量方法所w法比拟的。
  白光干涉仪的日常维护:
  1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动时,应托住底座,以防导轨变形。
  2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和y醚混合液轻拭。
  3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。
  4、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。
  5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。
  6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝,都涂有红漆,不要擅自转动。
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