光学轮廓仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
光学轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器，作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分广泛。是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。但是被测表面容易被触针划伤，为此应在保证可靠接触的前提下尽量减少测量压力。
光学轮廓仪的操作步骤：
1、将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2、将夹具放置在载物台上；
3、检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4、使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5、完成扫描设置和命名等操作；
6、点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7、进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8、进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型。
9、如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10、进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11、进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
