3d轮廓扫描仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，终还原出工件轮廓信息、粗糙度信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓、粗糙度进行各种参数分析。
3d轮廓扫描仪高精度、高稳定性、高重复性，满足被测件测量精度要求。选用高精度光栅测量系统和高精度电感测量系统，测量精度高；自主研发高精度研磨导轨系统，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作；高性能直线电机驱动系统，保证测量稳定性高、重复性好。
3d轮廓扫描仪的性能特点：
1、同时能测量表面粗糙度和轮廓形状
共用主体，只需切换不同模块，可对产品进行轮廓形状测量和微观粗糙度测量。
2、可进行多参数评定
粗糙度可依据不同标准进行自动评价，包含Ra,Rp,Rv,Rz,Rt,Rmax,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr及P参数、W参数、Motif参数、Rcore核心参数等多参数评定。
3、厚度参数测量
粗糙度参数测量的同时可同时测量600微米以内的一些薄膜台阶高度、厚度尺寸，测量方便，精度控制在2%H（H，测量总高度）以内，特别适合高精度且不能有刮伤的测量场合。
4、测量力系统：
采用音圈电机测力系统，测力可实现从10～150mN连续可调，测力分辨力可达0.2mN；避免了老式砝码加载因周围环境振动带来的测力误差，降低了测力变化引起的测量误差。
5、智能保护系统：
仪器在各个方向都有进行硬件及软件保护，能有效的保护仪器主机及测针，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。
6、灵活手动控制：
仪仪器配置了特殊分离式操作杆，操作杆在仪器操作移动时，可放置在任何位置控制操作，在测量工件前对测针进行粗定位；在脱离电脑的情况下，操作杆具备左右/上下移动测针、急停、测杆上下角度摆动及速度分多级调节功能。
