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激光共聚焦显微镜原理及应用

更新时间:2023-02-08      点击次数:1089

共聚焦显微镜主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。


共聚焦显微镜成像原理

共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔,其中一个放在光源前面,另一个放在探测器前面,如图所示。


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共焦显微镜光路示意图


得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄,通过所累积的不同焦平面的图像序列,使用软件编译完整的 3d 图像。


共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。传统光学显微镜上常配备灵敏度较低的CCD相机来采集图像,对于低照度的光,如荧光无法探测到,而共聚焦显微镜系统使用的探测元件是高灵敏度的光电倍增管,对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度,并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。


在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。如同为微纳检测的利器,共聚焦显微镜却是与白光干涉仪有着诸多不同,如果用一个字眼来形容,那么白光干涉仪是“文",而共聚焦显微镜是“武"。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测,追求检测数值的精准;而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测,虽在检测分辨率上略逊,但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。


VT6000系列共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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自设计之初,便定下了“简单好用"四字方针的目标。

1)结构简单:仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成,控制单元集成在设备主机之内,亦可采用笔记本电脑驱动,真正实现了“拎着走"的便携式设计;

2)真彩图像:配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现;


3)操作便捷:采用全电动化设计,并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换,图像视窗和分析视窗同界面的设计风格,实现了所见即所得的快速检测效果;

4)安全无忧:采用自研的电动鼻轮塔台,并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化,确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。


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