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以下便是双频激光干涉仪的主要结构组成部分

更新时间:2023-10-25      点击次数:277
  双频激光干涉仪是一种常用的实验室仪器,可以用于测量长度、形状、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源发出两个频率不同的激光束,通过干涉产生干涉条纹来进行测量。在激光干涉仪中,激光源会发出两个频率不同的激光束,其中一个激光束为参考光,另一个激光束则被用来测量待测物体的位移或形变。这两束激光束会经过分束器和反射镜,最终在检测器上产生干涉信号。
  双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
  以下是双频激光干涉仪的主要结构组成部分:
  1、激光器:使用两个激光器作为光源,分别发射具有不同频率的激光束。这些激光器通常是稳定的单纵模激光器,能够提供相干性良好的激光光源。
  2、光路系统:光路系统用于引导和控制激光束的传输和干涉。它通常包括光束分束器、反射镜、透镜、干涉仪等光学元件。光路系统的设计和调整对于保证干涉仪的稳定性和精度至关重要。
  3、干涉仪:干涉仪是核心部分,用于实现激光的干涉效应。常见的干涉仪结构包括马赫-曾德尔干涉仪(Michelson Interferometer)、扩展马赫-曾德尔干涉仪(Michelson-Morley Interferometer)等。干涉仪通过将两束激光束进行干涉,产生干涉条纹,从而实现测量。
  4、探测器:探测器用于检测干涉仪中的干涉信号,并将其转换为电信号。常用的探测器包括光电二极管、光电倍增管、光电探测器等。探测器的选择和性能对于测量的灵敏度和精度具有重要影响。
  5、信号处理系统:信号处理系统用于接收、放大和处理探测器输出的电信号。它通常包括放大器、滤波器、模数转换器等。信号处理系统能够提取干涉信号中的有用信息,并进行数字化处理和分析。
  6、控制系统:控制系统用于控制激光器、光路系统和信号处理系统的工作。它可以通过调节激光器频率、干涉仪光程差等参数,实现对测量过程的控制和调整。
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