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微纳米表面轮廓仪器及使用技巧

更新时间:2023-12-20      点击次数:417

在现代科技发展的今天,微纳米表面轮廓形貌测量已成为许多领域的重要研究内容。微纳米表面轮廓形貌的测量可以帮助我们了解材料的物理特性、表面形态以及质量状况。那么,有哪些微纳米表面轮廓形貌测量仪器?

1、白光干涉仪

白光干涉仪是一种常见的微纳米表面轮廓仪测量仪器,常用于研究产品的微观形貌和粗糙度。它利用光的波长差异产生干涉条纹,通过计算条纹的变化情况来确定物体表面的轮廓。

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针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,W1白光干涉仪复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

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白光干涉仪具有测量范围宽、测量快速、精度高等优点,在许多领域广泛应用。但主要还是用于产品微观形貌测量,特别是从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量,精度一般是亚纳米级别。

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2、共聚焦显微镜

共聚焦显微镜以针孔共聚焦技术为原理,对大倾角的产品有更好的成像效果。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测。大倾角超清纳米测量,在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

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微纳米表面轮廓形貌测量仪器的选择取决于所需分辨率、材料类型、实验条件等因素。选择适合的测量仪器对于准确获取样品表面形貌和特征至关重要,有助于推进科学研究和技术应用的发展。


我们应该怎样使用?

微纳米表面轮廓仪的使用技巧:

1. 准备工作:在使用微纳米表面轮廓仪进行测量之前,需要对仪器进行校准和调试。同时,需要保证被测物体表面干净、光滑,避免灰尘、油污等物质的干扰。

2. 正确操作:在进行测量时,需严格按照仪器的操作手册进行操作。同时,要注意保持仪器的稳定性,避免震动和温度变化对测量结果的影响。

3. 数据处理:测量完成后,需要对测量得到的数据进行处理。通常可以使用专业的数据处理软件进行数据导出、曲线拟合、参数计算等步骤,以获得准确的测量结果。

4. 维护保养:长期使用微纳米表面轮廓仪需要注意仪器的维护保养。定期清洁仪器表面和光路,检查和更换损坏部件,以保证仪器的正常使用和准确测量。

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