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光学3D表面轮廓仪&共聚焦显微镜:助力半导体行业走向新质生产力时代

更新时间:2024-03-27      点击次数:291

新质生产力不仅仅是生产效率和成本控制的提升,更重要的是通过创新和技术升级,从而实现生产过程智能化、个性化、和高质量化。传统的生产模式正在被改变,而半导体行业作为高科技产业的代表之一,更是迫切需要适应这一变革。


随着半导体技术的不断发展和智能制造的推动,半导体制造过程中,对尺寸、形状和表面质量的检测至关重要。而显微测量仪的高精度、高分辨率的测量能力,为半导体行业提供了强大的支持。

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SuperViewW光学3D表面轮廓仪结合机械制造、计算机技术、图像出处理技术,以非接触的扫描方式,实现针对样品表面的高重复精度的3D测量,获取样品表面质量的2D、3D数据。

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仪器集合PSI高精度&VSI大范围双重优点的EPSI扫描算法,从0.1nm级别的超光滑表面到数十微米级别的粗糙表面,都能实现高精度测量。此外具有的同步分析与预编程分析功能,实现了分析过程的所见即所得,测量到分析的一键式操作,有效缩减操作步骤。


VT6000共聚焦显微镜以针孔共聚焦技术为原理,结合高稳定性结构设计和优异的3D重建算法,可对各种精密器件及材料表面进行微纳米级粗糙度、微观几何轮廓等的测量。在半导体制造及封装工艺检测中,对大倾角产品有更好的成像效果。

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在芯片制造的各个环节,显微测量仪用于检测半导体芯片和晶圆的尺寸和形状,提供准确的尺寸测量,满足半导体制造过程中对尺寸、形状和表面质量更严格的要求,帮助制造商及时发现和纠正任何偏差;在表面质量的评估和缺陷检测方面,显微测量仪可以检测微小的表面缺陷和污染,确保产品的表面质量达到标准要求,提高产品的可靠性和稳定性。


我们有理由相信,在新技术和新思维的推动下,显微测量仪将使半导体行业迈向更加智能化、高效化和可持续化的未来。

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