您好!欢迎访问深圳市中图仪器股份有限公司网站!
全国服务咨询热线:

18928463988

article技术文章
首页 > 技术文章 > 双频激光干涉仪的应用范围是非常广泛的

双频激光干涉仪的应用范围是非常广泛的

更新时间:2024-04-22      点击次数:126
  双频激光干涉仪是一种常用的实验室仪器,可以用于测量长度、形状、表面粗糙度等物理量。它基于干涉原理,利用激光源发出两个频率不同的激光束,通过干涉产生干涉条纹来进行测量。在激光干涉仪中,激光源会发出两个频率不同的激光束,其中一个激光束为参考光,另一个激光束则被用来测量待测物体的位移或形变。这两束激光束会经过分束器和反射镜,最终在检测器上产生干涉信号。
  双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
  双频激光干涉仪的应用范围非常广泛,具体如下:
  1、精密测量领域:能够进行长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何量的精密测量。它的测量精度可以达到纳米级别,远高于传统的机械测量和视觉测量方法。
  2、半导体制造:在半导体光刻技术中,用于微定位,保证光刻过程中的精确对准。同时,它也被用于计算机存储器上记录槽间距的测量,确保数据存储的准确性。
  3、工程测量:在工程测量领域扮演着不可替代的角色,它可以对大型结构进行精密计量,例如建筑物的变形监测、桥梁的位移测量等。
  4、机床校准:在高精度的磨床、镗床以及加工中心的定位系统中,双频激光干涉仪用于校准机床,确保加工精度和设备性能。
  5、科研实验:在科学研究和实验中,用于精确测量微小物体的运动,如手表零件等,以及在物理实验中测量微小的位移变化。
  6、计量室内应用:在恒温、恒湿、防震的计量室内,双频激光干涉仪用于检定量块、量杆、刻尺和坐标测量机等测量工具的精度。
版权所有 © 2024 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网