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有关三维表面轮廓仪技术特点的,不妨看看下文!

更新时间:2024-05-14      点击次数:159
  三维表面轮廓仪是一种先进的测量设备,主要用于测量和分析物体表面的三维轮廓和形貌。其主要基于光学原理进行测量。它利用激光或其他光源投射到被测物体表面,通过接收反射光或散射光,结合计算机图像处理技术,获取物体表面的三维坐标数据。这些数据可以进一步用于分析物体表面的形状、粗糙度、纹理等特征。
  三维表面轮廓仪的技术特点:
  1、高精度测量:具备纳米级的检测精度,能够精确获取工件表面的三维形貌和数据。
  2、大垂直扫描范围:某些设备提供150um的压电陶瓷驱动垂直扫描,以及最大可达20mm的扩展扫描能力。
  3、出色的重复性:重复性小于0.1nm RMS,确保测量结果的可靠性。
  4、横向分辨能力:空间采样率可达到0.30um(使用100X物镜时)甚至更高,这允许设备捕捉到微观细节。
  5、快速扫描速度:最大扫描速度可达96um/s,提高了检测效率。
  6、台阶测量线性度:重复性≤0.1%,保证了测量的准确性。
  7、多功能性:除了用于半导体、微机电系统等领域的质量控制,还可以应用于文物保护、地形测绘等多个行业。
  总的来说,三维表面轮廓仪是一种高新技术产品,其技术特点使其在精密工程和科学研究中扮演着重要角色。通过这些特点,三维表面轮廓仪能够为用户提供精确的表面形貌测量,从而保证产品质量和科研数据的有效性。
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