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什么是扫描电镜?扫描电镜的工作原理、功能、应用案例

更新时间:2025-09-25点击次数:1058
  扫描电镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)是一种高分辨率的电子显微镜,广泛应用于材料科学、生物学、地质学等多个领域。其工作原理基于电子与物质间的相互作用,通过发射电子束并使其在样品表面扫描,从而激发样品产生各种物理信号,这些信号再被收集、放大并转换成图像。
 
扫描电镜
扫描电镜
 
  在工作时,扫描电镜的电子枪发射出电子束,这些电子在加速电压的作用下,经过电磁透镜聚焦成细小的束斑。随后,电子束在扫描线圈的作用下,按一定规律在样品表面进行扫描。当电子束照射到样品表面时,会与样品中的原子发生相互作用,激发出二次电子、背散射电子等信号。这些信号被相应的探测器接收,并经过放大处理后,最终转换成图像显示在屏幕上。
 
  功能
 
  1)台式电镜紧凑的外型,能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花;
 
  2)高分辨率,能够对微尺寸特征进行观测分析,满足用户的观测需求;
 
  3)快速抽放气,凭借真空系统设计,该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间;
 
  4)高易用性,能够快速成像、一键出片,用户使用自动调节功能,无需过多人工操作,就可得到高质量拍摄图片;
 
  5)大样品仓,CEM3000A在保证较小外型尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;
 
  6)高抗振防磁性能,全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力,特别是CEM3000B使用本公司技术,基于复合抗振手段,将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度;
 
  7)可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测;
 
  8)能够提供多种成像参数供用户选择,满足专业用户的调节需求;
 
  9)搭配有多种探头,能够对样品进行多种手段的分析。
 
  结构组成方面,扫描电镜主要由电子光学系统、扫描系统、信号收集系统、图像显示和记录系统、真空系统以及电源系统六大部分组成。其中,电子光学系统负责产生和聚焦电子束;扫描系统控制电子束在样品表面的扫描;信号收集系统接收并放大样品激发出的信号;图像显示和记录系统将放大后的信号转换成图像并记录下来;真空系统确保镜筒和样品室中的高真空环境,以避免电子束与气体分子发生碰撞;电源系统为整个仪器提供所需的电力。
 
  应用案例
 
  金属材料分析
 
形貌分析扫描电镜
花粉微观形态
 
形貌分析扫描电镜
  综上所述,扫描电镜凭借其的工作原理和精细的结构组成,在微观世界的探索中发挥着不可替代的作用。

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