电子显微镜的“指挥棒”:深入解析扫描系统的工作原理
2025-09-11
扫描系统作为电子显微镜的“指挥棒”,通过精准控制电子束在样品表面的扫描路径,实现微观形貌的高分辨率成像,其工作原理可拆解为以下核心环节:一、电子束的生成与聚焦电子枪(如热发射枪或场发射枪)发射高能电子束,经电磁透镜系统聚焦后,形成直径仅5-10纳米的细束。这一过程类似于光学显微镜中光源的准直,但电子束的波长更短(加速电压下波长可达0.01纳米级),为高分辨率成像奠定基础。二、扫描系统的动态控制末级透镜上方的扫描线圈是系统的“指挥中枢”。通过向线圈输入锯齿波电流,电子束在样品表...