台阶仪厂家：0.5mg测力接触式测量解决碳化硅（SiC）测量难题

台阶仪超微力恒力传感器实现0.5mg测力接触无损伤探测，亚埃级分辨率，高台阶高度重复性＜4 Å，解决碳化硅（SiC）测量难题。

此外，NS系列台阶仪还支持三维量测（3D扫描表面形貌）。通过双影像导航系统精准定位，它能对晶圆表面进行大范围扫描拼接，不仅能绘制出机械抛光后的表面微观形态，更能直接生成薄膜应力测量曲线。

配合内置的SPC统计（数据收集和分析）功能，工艺工程师可以直观地预判薄膜应力的暗涌，从而评估晶圆质量和工艺稳定性。

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