2024展会预告|3月上海慕尼黑光博会,中图仪器展品提前看!
2024-03-18 慕尼黑上海光博会(LASERPhotonicsChina)集中展示涵盖激光器与光电子、光学与光学制造、激光生产与加工技术、成像、检测和质量控制四大板块,以国际化视角呈现光电行业的产品内容,专为满足中国市场需求,是不容错过的业内展会。作为专精特新企业,中图仪器从纳米到百米,高强度研发补齐国产精密测量短板,为产业发展赋予了更多实用价值。在展会上将带来显微形貌测量、一键式光学影像测量、接触式轮廓尺寸测量、位置与运动精度测量四大主题的多种测量解决方案,展示国产化全自主研发三坐标测量机...半导体量测领域新增量测设备!中图仪器无图晶圆几何量测系统正式发布
2024-02-29 在晶圆制造前道过程的不同工艺阶段点,往往需要对wafer进行厚度(THK)、翘曲度(Warp)、膜厚、关键尺寸(CD)、套刻(Overlay)精度等量测,以及缺陷检测等;用于检测每一步工艺后wafer加工参数是否达到设计标准,以及缺陷阈值下限,从而进行工艺控制与良率管理。半导体前道量检测设备,要求精度高、效率高、重复性好,量检测设备一般会涉及光电探测、精密机械、电子与计算机技术,因此在半导体设备中,技术难度高。在wafer基材加工阶段,从第一代硅,第二代砷化镓到第三代也是现阶...