光学3D轮廓仪是一种用于测量物体表面三维形貌的精密仪器。它基于光学原理，特别是白光干涉技术，以非接触的方式获取物体表面的高度、形状和轮廓信息。工作原理是通过光源发出的光，经过特定的光学系统（如分光棱镜）分成两束或多束光，一束或多束光照射到被测物体表面并反射回来，另一束或多束光则作为参考光。当这两束或多束光再次相遇时，它们会发生干涉，形成特定的干涉条纹或图案。这些干涉条纹或图案会携带有关被测物体表面形貌的信息，通过专门的图像处理和分析软件，可以解算出物体表面的三维形貌数据。
1、高分辨率：利用白光干涉技术，能够实现优于纳米级别的高分辨率测量。
2、非接触测量：采用光学原理进行测量，避免了物理接触可能对样品表面造成的损伤或测量误差。
3、多功能性：除了测量表面形貌，还能够测定表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓等参数。
4、广泛应用：适用于各种产品、部件和材料的表面质量分析，包括表面缺陷和磨损情况的检测。
5、精确度高：通过不同光学元件形成的参考光路和检测光路，确保了测量结果的准确性和可靠性。
综上所述，光学3D轮廓仪以其高精度、非接触式测量能力、多功能性以及广泛的应用范围，在精密工程、材料科学以及其他需要表面质量分析的领域中发挥着重要作用。这些技术特点使得光学3D轮廓仪成为研究和工业应用中不可缺工具。
