光学3d轮廓仪

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪分辨率达0.1nm，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器。

在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；

在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度；

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SuperViewW1光学3d轮廓仪性能特点

1. 特殊设计的隔振系统

双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

2. 3D重建算法

重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，精度可以打亚纳米级别。

3. 一体化操作软件

一体化操作软件，测量与分析同界面操作，预先配置好分析参数，软件自动统计测量数据，实现快速批量测量。