近年来，面对持续高涨的芯片需求，半导体行业生产迎来了高难度挑战——对芯片工艺要求更精细，从5nm到3nm，甚至是2nm。“先进封装”的提出，是对技术的新要求，也是对封装工艺中材料和设备的全新考验。芯片身上布控着几千万根晶体管，而晶体管越小，...

目前，在几何量测量中最重要的激光技术是用广电转换条纹计数等方法来测量长度，这种方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接触测量及自动测量等优点。基于激光干涉仪技术的精密角度测量系统，通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的...

一、干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。二、工作原理：(1)干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常...

光栅测长机采用进口高精度光栅测量系统、进口超高精密研磨导轨、双向可切换恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种长度参数的高精度测量。通过超精密研磨导轨保证测量行走的高稳定性及直线度，采用进口高精度光栅测量系统记录接触测量中长度方向坐标...

三坐标测量机可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，能够对各种零件和部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测，也可以对软材质或复杂零件进行光学扫描测量。它是在三维空间上通过采集点的三维坐标来评定物体几何形状，是集光、电、气、机械与计算机技术...

测头系统是三坐标测量机的数据采集传感器系统，是三坐标测量机的关键部件，测头精度的高低决定了坐标测量机的测量重复性。三坐标测量机的功能、工作效率、精度与测头密切相关。在对工件进行测量时，三坐标测量机能够根据测头系统探测工件，返回工件表面的点数...

叶片作为发动机的核心部件，制造工艺复杂，科技含量高，在研发过程中遇到的难题很多。可以说发动机的性能很大程度上取决于叶片型面的设计和制造水平。其中航空发动机叶片是典型的自由曲面零件，它的曲线形状、制造精度和质量直接决定了发动机的推进效率大小和...

形貌仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件...