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你可知双频激光干涉仪的特点是什么?

发布时间:2021-05-18      点击次数:23
   双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
  双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
  双频激光干涉仪的特点及应用:
  (1)接受信号为交流信号,前置放大器为高倍数的交流放大器,不用直流放大,故没有零点漂移等问题。
  (2)利用多普勒效应,计数器计频率差的变化,不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90%时仍可得到满意的信号,这对于远距离测量是十分重要的,同时在近距离测量时又能简化调整工作。
  (3)测量精度不受空气湍流的影响,无需预热时间。
  用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初仅用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上,以后又用于加工中心的定位系统中。但由于在一般机床上使用感应同步器和光栅一般能达到精度要求,而激光仪器的抗振性和抗环境的干扰性能差,且价格较贵,目前在机械加工现场使用较少。
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