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这就是双频激光干涉仪的四大优越性吗?

发布时间:2021-06-04      点击次数:52
     双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。
    双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
    双频激光干涉仪的优越性:
    1、精度高
    双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm 量级,细分后更可达到n m量级。
    2、应用范围广
    双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外,配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
    3、环境适应力强
    即使光强衰减 90%,仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点,双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机,也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
    4、实时动态测速高
    现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1 m/s,有的甚至于十几m/s,适于高速动态测量。
    双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪最终摆脱了计量室的束缚,更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。
    因此,对于双频激光干涉仪的研究有利于提高对该仪器的了解,以致于改进其性能,使其在计量方面有着更加广泛的应用,具有重大意义。
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