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这就是白光干涉仪的几大特征所在

发布时间:2021-12-13      点击次数:243
 
  白光干涉仪是目前三维形貌测量领域精度最高的检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
  是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。
  白光干涉仪的性能特征:
  1、高精度、高重复性
  3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统,以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统,保证了测量精度和测量重复性。
  2、一体化操作的测量分析软件
  测量数据自动统计,可视化窗口,结合自定义分析模板的自动化测量功能,实现了快速批量测量的功能,自动完成多区域的测量与分析过程。
  3、精密操纵手柄
  集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。
  4、双重防撞保护措施
  (1)软件防撞保护ZSTOP
  即在Z轴上设置停止位,设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离,当镜头运动到该位置时,就立刻停止不再向下运动,起到保护样品和镜头的作用。
  (2)Z轴硬件防撞传感器
  在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品,也守护每一分价值和信任。
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