中图光学3D表面形貌轮廓仪SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器SJ5800表面粗糙度轮廓形状测量仪采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量。

SJ5800轮廓粗糙度一体测量仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块.可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，是大曲面测量（轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子）领域精细粗糙度测量的利器。

粗糙度轮廓仪中图仪器SJ5800系列采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，可以对零件表面，对于复杂的工件，对工件任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。

中图仪器SuperViewW1白光三维轮廓测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气。

SJ5800粗糙度轮廓测量复合机采用超高精度纳米衍射光学转轴测量系统及高精度直线光栅，具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm，轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。