SuperViewW1白光干涉测量仪系统分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点。

SuperViewW1白光干涉仪检测仪器由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1三维白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

中图白光干涉仪设备具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。它以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。

中图仪器SuperViewW1白光干涉三维形貌仪是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。可以测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓，此外具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW3大尺寸白光干涉三维形貌仪具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能，其中表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

SuperViewW1立式非接触白光干涉仪双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。