SuperViewW系列3D光学轮廓仪检测仪器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重复性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重复性，连续10次测量Sa=0.2nm硅晶片，数据偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余种国内外标准。

SuperViewW光学表面轮廓仪系统以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数，一体化高精度测量粗糙度与轮廓度。

中图仪器SuperViewW白光粗糙度轮廓仪基于白光干涉核心技术，实现粗糙度与轮廓度一体化高精度测量，以全场景适配、高效自动化优势，成为B端企业降本增效的核心检测装备。

中图仪器SuperViewW光学微观几何轮廓测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

中图仪器SuperViewW非接触式光学三维轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

​中图3维形貌轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。