SuperViewW1非接触式光学轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
SuperViewW1光学形貌轮廓仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器,主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
CHOTEST中图仪器SuperViewW1光学轮廓度测量仪是以白光干涉技术为原理的白光干涉仪,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测,具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。
除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,光学表面轮廓仪品牌SuperViewW1具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
SuperViewW1国产光学轮廓仪品牌测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广。其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉光学3D表面轮廓仪可对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量,主要对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
CHOTEST中图仪器3d光学轮廓仪品牌SuperViewW1采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
SuperViewW13d光学轮廓测量仪可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。
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