以白光干涉扫描技术为基础的3d轮廓仪是用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度,并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。
SuperView W1三维轮廓测量仪基于白光干涉原理,不仅用于零件的检测,还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备,能完成缺陷尺寸的在线检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
SuperView W1系列三维表面形貌仪是以白光干涉技术为原理,获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。
SJ5760表面轮廓测量仪是专门用来检测经机械加工后工件的表面粗糙度、表面轮廓的机电一体化精密测量仪器,能够满足轴承行业所有的测量需求,具备轴承轮廓度评价功能,是大曲面测量领域精细粗糙度测量的利器。
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