您好!欢迎访问深圳市中图仪器股份有限公司网站!
全国服务咨询热线:

18928463988

Products产品中心
首页 > 产品中心 > 光学3D表面轮廓仪 > 光学3D轮廓仪 > SuperView W1系列三维表面形貌仪

三维表面形貌仪

简要描述:SuperView W1系列三维表面形貌仪是以白光干涉技术为原理,获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。

  • 更新时间:2021-11-26
  • 产品型号:SuperView W1系列
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:90

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,电子,航天,汽车干涉物镜10x(2.5x,5x,20x,50x,100x可选)
视觉尺寸(0.049x0.049)mm-(6x6)mmXY移动范围(200x200)mm
负载10kgZ向扫描范围10mm
Z向分辨率0.1nm可测样品反射率0.05%-100%
台阶测量准确度0.7%

SuperView W1系列三维表面形貌仪基于白光干涉原理研制而成,采用扩展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。


白光干涉原理

500白光干涉原理.jpg


产品参数

产品型号:SuperView W1

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100%

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司


产品型号:SuperView W1-Pro

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY位移平台:尺寸300×300mm,行程200×200mm,电动

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100%

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司


500两种型号.jpg


技术指标

500技术指标.jpg


产品特点

参数测量:粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积,一网打尽;

环境噪声检测:实时监测,纳米波动,也无可藏匿;

双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石"也能安然无恙;

自动拼接:3轴光栅闭环反馈,让3D拼接“天衣无缝";

双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动"。


产品性能

纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关

扫描帧速:50FPS/s

粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)

光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关

最大点数:1048576(标准)

台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ


SuperView W1系列三维表面形貌仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。



产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信

版权所有 © 2022 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网