您好!欢迎访问深圳市中图仪器股份有限公司网站!
全国服务咨询热线:

18928463988

Case合作案例
首页 > 合作案例 > SJ6000激光干涉仪检测光刻机

SJ6000激光干涉仪检测光刻机

发布时间:2021/4/9 10:03:38

光刻机是集成电路生产的最关键的设备之一,在整个生产过程中占据重要的地位。高精度的工作台作为光刻机核心部件之一,运动性能和定位精度决定了光刻工艺所能实现的线宽和产率。

光刻机的工作台是一个六自由度的运动台,其中X/Y向运动台是最核心的基础工序。管控XY轴角度YawPitch,直线度Horizontal StraightnessVertical Straightness是获得XY线性(重复)精度(Linear Positioning)的关键,是后续实现六自由度的控制的基石,是多层曝光对准精度的源头。

本次检测一台光刻机XY轴的角摆和直线度,部分结果如下:

 

YVertical Straightness测量

XPitch测量

X轴测量轴长225mm,其中垂直直线度测得结果0.58μm 

Y轴测量轴长600mm,测得角度Yaw结果0.86″。

 

  • 上一篇:没有了
  • 下一篇:没有了
版权所有 © 2021 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网