WD4000无图晶圆检测机:助力半导体行业高效生产的利器
2023-10-26
晶圆检测机,又称为半导体芯片自动化检测设备,是用于对半导体芯片的质量进行检验和测试的专用设备。它可以用于硅片、硅晶圆、LED芯片等半导体材料的表面检测,通过对晶圆的表面特征进行全面检测,可以有效降低产品的不良率,提高产品的稳定性和可靠性。一种晶圆表面形貌测量方法-WD4000无图晶圆几何量测系统WD4000无图晶圆检测机采用高精度光谱共焦传感技术、光干涉双向扫描技术,完成非接触式扫描并建立3DMapping图,实现晶圆厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、...