智能化驱使下,中图仪器光学3D成像测量技术的创新应用
2023-04-21
3D成像技术实现了二维到三维的升级。智能化制造下,具有3D成像功能的机器视觉系统可以更快,更准确地检查生产现场的组件。其中表面形貌的3D测量,包括了轮廓的测量以及表面粗糙度的测量,是微纳结构测量最为基础和重要的项目。目前常用的微结构表面形貌测量方法分为接触式和非接触式。运用非接触式测量技术的3D光学检测仪器,大多是基于光学方法(干涉显微法、自动聚焦法、激光干涉法、光学显微干涉法等),可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量,在微纳米结构检测中有着重要意义。...