高精度轮廓度测量的关键影响因素:探针半径补偿与采样策略
2025-08-14
高精度轮廓度测量是评估工件表面形貌与理论轮廓偏差的核心手段,其准确性高度依赖探针半径补偿与采样策略的协同优化。二者分别从微观接触力学与宏观数据采集层面影响测量结果,需通过系统控制实现误差最小化。探针半径补偿:微观接触误差的精准修正探针与工件表面接触时,实际测量点并非理论接触点,而是探针球心轨迹,导致测量结果存在系统性偏差。半径补偿通过数学模型修正此偏差,其关键影响因素包括:接触方向与曲面曲率探针接触方向与曲面法向的夹角会影响补偿精度。当接触方向偏离法向时,补偿值需叠加角度修正...