技术文章_第(45)页－深圳市中图仪器股份有限公司

激光干涉仪原理特点
2023-01-16 一、激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。二、激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。三、位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量...
激光干涉仪快速检测三坐标测量机垂直度
2022-12-28 三坐标测量机测量精度高、效率高，广泛应用在精密加工检测领域。它与数控机床是保证工件测量与加工精度的关键设备。其中作为高精度的测量基准，几何误差的快速、高精度检测技术都是三坐标测量机性能提升的关键。三坐标测量机运行速度的加快，动态误差往往会比静态/准静态误差对测量精度影响更大。特别在高速测量过程中，产生的自激振动和受迫振动，都会产生动态误差。激光干涉仪是常用的机床、三坐标测量机几何误差检测的手段。其中垂直度测量是通过比较正交轴的直线度值从而确定正交轴的非直角度。三坐标测量机的垂...
白光干涉仪3D形貌测量之美
2022-12-28 白光干涉仪能测什么？有着“纳米眼”之称的白光干涉仪，是一款在纵向分辨率上可实现0.1nm的分辨率和测量可靠性的光学测量仪器。下面就让我们一起来领略下国产白光干涉仪镜头下的3D显微之美。SuperViewW1白光干涉仪白光干涉仪采用的光学轮廓测量法可以非接触式测量非平坦样品，轻松测量出弯曲和其他非平面表面，还可以测出曲面的表面光洁度、纹理和粗糙度等，同时不会像探针是轮廓仪那样损坏薄膜。白光干涉仪3D形貌图片：图1.超光滑_纳米级表面图2.分成了32阶的纳米级微纳光学元件图3.半...
激光跟踪仪的使用可少不了以下要领
2022-12-26 激光跟踪仪是一种空间大尺寸三维坐标精密测量的先进几何量仪器，不仅可以对静止的空间目标进行高精度三维测量，还可以对运动的目标进行跟踪测量，是大尺寸精密测量的主要手段。系统由PC、控制主机、跟踪站、目标镜等组成。激光跟踪仪集合了精密机械技术、计算机及控制技术、激光干涉测距技术、光电探测技术、现代数值计算理论等各种先进技术，对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标。它具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷、操作简便等特点，适合于大尺寸工件配装测量。激光跟踪测量系统的工...
3d轮廓扫描仪竟然有如此性能特点？
2022-12-20 3d轮廓扫描仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，终还原出工件轮廓信息、粗糙度信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓、粗糙度进行各种参数分析。3d轮廓扫描仪高精度、高稳定性、高重复性，满足被测件测量精度要求。选用高精度光栅测量系统和高精度电感测量系统，测量精度高；自主研发高精度研磨导轨系统，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作；高性能直线电机驱动系统，保证测量稳...
重在品质，工于装备！激光跟踪仪应用系列-工程机械部件检测
2022-12-19 工程机械作为工程建设中的重要工具，施工过程中长期承受各种外力，因此对各结构件质量要求很高，检测十分严格，通常要求的公差在0.1mm～0.2mm以内。工程机械部件外形尺寸及重量通常较大，常规仪器无法有效满足检测需求，GTS激光跟踪仪作为大尺寸空间精密测量仪器，空间测量精度以微米计，且测量范围可达160m，能为工程机械制造提供精准的测量保障。激光跟踪仪采用球坐标系测量系统，测量时，操作者手持测量靶球，激光跟踪仪射出一道激光主动跟踪测量靶球，在操作者将靶球接触待测工件表面时，激光跟...
白光3D轮廓测量仪适配芯片制造生产线，助力半导体行业发展
2022-12-19 近年来，面对持续高涨的芯片需求，半导体行业生产迎来了高难度挑战——对芯片工艺要求更精细，从5nm到3nm，甚至是2nm。“先进封装”的提出，是对技术的新要求，也是对封装工艺中材料和设备的全新考验。芯片身上布控着几千万根晶体管，而晶体管越小，可放置的晶体管越多，性能也将越高。芯片的进化就是晶体管变小的过程。晶体管密度更大、占用空间更少、性能更高、功率更低，但挑战也越来越难以克服。小尺寸下，芯片物理瓶颈越来越难以克服。尤其在近几年，先进节点走向10nm、7nm、5nm.........
数控机床检测技术之激光干涉仪角度测量
2022-12-12 目前，在几何量测量中最重要的激光技术是用广电转换条纹计数等方法来测量长度，这种方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接触测量及自动测量等优点。基于激光干涉仪技术的精密角度测量系统，通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线性位移量，由此引起干涉条纹的变化，再通过相应电路对干涉条纹进行一系列处理，从而实现了对大转角的精密测量。具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。激光干涉仪利用激光作为长度基准，可以对数控设备（加工中心、三坐标测量...

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