SuperViewW1光学镜片表面轮廓仪采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质。

中图仪器光学表面轮廓检测仪可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

中图仪器SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪分辨率可达0.1nm，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

SuperViewW系列三维轮廓测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

SuperViewW1系列光学表面轮廓仪采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质。

光学轮廓仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。