以白光干涉扫描技术为基础的3d轮廓仪是用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。

中图仪器研发生产的光学3d轮廓仪检测仪对产品进行高品质监控时不需要取下产品或停止生产，而且采用的是非接触式光学测量，在获得实时数据的同时，不会对产品造成任何损伤，从而有效节约了生产成本，提高了生产效率，并且在线检测，没有滞后性，从而减少不合格品，对表面缺陷检测亦如此。

中图仪器研发生产的3d白光轮廓仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。

SuperView W1三维轮廓测量仪基于白光干涉原理，不仅用于零件的检测，还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备，能完成缺陷尺寸的在线检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SuperView W1系列三维表面形貌仪是以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。

SJ5760表面轮廓测量仪是专门用来检测经机械加工后工件的表面粗糙度、表面轮廓的机电一体化精密测量仪器，能够满足轴承行业所有的测量需求，具备轴承轮廓度评价功能，是大曲面测量领域精细粗糙度测量的利器。