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三维轮廓测量仪

简要描述:SuperViewW系列三维轮廓测量仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

  • 更新时间:2022-04-25
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:356

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域生物产业,能源,航天,汽车,综合

中图仪器SuperViewW系列三维轮廓测量仪采用的是非接触式光学测量,在获得实时数据的同时,不会对产品造成任何损伤,从而有效节约了生产成本,提高了生产效率,并且在线检测,没有滞后性,从而减少不合格品,对表面缺陷检测亦如此。

3.jpg


如一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片放到显微镜下,看到的是一面布满点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界。


塑料薄片.png


使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。


塑料薄片微观1.jpg


点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。



单个凸点截面直径约42µm、高3.8um、夹角160°,分布周期97µm;单个弧形波高约1.6µm、宽约35µm,周期35µm。


SuperViewW系列三维轮廓测量仪分辨率0.1μm,重复性0.1%,具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。


参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取



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