机床激光干涉仪

机床的定位精度和重复定位精度都是用激光干涉仪来检测的。中图仪器SJ6000机床激光干涉仪是高精度线性位移测量仪器，采用氦氖激光器作为光源。其精度高，抗干扰能力强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。

SJ6000机床激光干涉仪可以通过与不同的光学组件结合，对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm，可以满足现在所有类型数控机床精度检测，它可以弃普通车间进行应用，具有更强的环境适应能力，同时可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。

其线性镜组应用于机器轴的定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等；也可用于机器轴的动态测量分析。

产品参数

产品型号： SJ6800

产品名称： 激光干涉仪

稳频方式： 激光双纵模热稳频

稳频精度： 0.04ppm

测量距离：≤（0-80）m（无需远距离线性附件）

测量分辨力：1nm

测量至大速度：4m/s

线性测量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

主要特点：绝对测量、恒测力、无阿贝误差