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SuperViewW1立式非接触白光干涉仪双通道气浮隔振系统设计,既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气,在无外接气源的条件下也可稳定工作,可以有效隔绝地面传导的振动,同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动,确保仪器在车间也能正常工作。
中图仪器SuperView W1双物镜白光干涉仪的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。
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