NS系列微观形貌台阶高测量仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
NS系列探针式薄膜厚度台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列精密台阶仪台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。
NS系列膜厚测量台阶仪台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。
NS系列纳米高精度台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列台阶仪精密测量仪器台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。