NS系列探针式台阶仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。
NS系列高重复性大量程台阶仪台阶高度重复性能低于5A,Z0向测量量程可到1050um。最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。
中图仪器NS系列探针式电池薄膜台阶厚度仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。
NS系列薄膜台阶测厚仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。
NS系列半导体台阶高度测量仪器可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。广泛应用于半导体、光伏、MEMS、光学加工等领域。
NS系列半导体台阶仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。