中图仪器NS系列探针式电池薄膜台阶厚度仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。
NS系列薄膜台阶测厚仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。
NS系列半导体台阶高度测量仪器可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。广泛应用于半导体、光伏、MEMS、光学加工等领域。
NS系列半导体台阶仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,可测量沉积薄膜的台阶高度、抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度等。
NS系列膜厚台阶仪其线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
NS系列高精度探针式台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。