NS系列软膜材料台阶高度仪采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
NS系列台阶薄膜测厚仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
NS系列台阶薄膜厚度测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列涂层薄膜厚度台阶仪用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
NS系列纳米级台阶测厚仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。
NS系列高精度探针式轮廓仪单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。
NS系列微纳样品台阶测量仪能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
NS系列接触式薄膜台阶测量仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。
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