中图仪器0.005nm粗糙度RMS重复性白光干涉仪形貌重复性达0.1nm，台阶测量准确度仅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余种国内外标准。基于白光干涉技术与复合型EPSI重建算法，连续10次测量Sa=0.2nm硅晶片，数据偏差＜0.001nm，为工艺优化、产品质检提供可信的量化依据。

SuperViewW工业表面3D检测白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperView W1系列纳米级白光干涉三维形貌仪以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数，一站式解决超精密测量精度不足、多材质适配难、批量检测效率低等测量难题。应用覆盖半导体、3C电子等多行业场景，数据驱动检测，赋能精密制造升级。

中图仪器SuperView W系列0.1nm形貌重复性白光干涉仪一键完成单/多区域自动测量、批量分析，编程测量功能可预设流程实现一键操作，单个精细器件测量用时短，大幅提升检测 throughput。

SuperViewW工业表面3D白光干涉检测仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。