中图仪器CHOTEST共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000系列材料共聚焦3D成像显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000白光干涉共聚焦测量显微镜以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

中图仪器3D材料共聚焦测量显微镜基于共聚焦技术，结合精密Z向扫描与智能3D建模算法，可实现对纳米至微米级表面形貌的高精度测量，覆盖光滑、粗糙、低反射至高反射等多样化材料表面。广泛应用于半导体、3C电子、汽车零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工领域，助力企业提升质量控制效率与产品研发能力。

VT6000共聚焦三维形貌显微测量仪以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

VT6000系列3D共聚焦显微系统主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。