VT6000共聚焦三维形貌显微测量仪以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

VT6000系列3D共聚焦显微系统主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。

VT6000高精度共聚焦显微镜基于共聚焦技术，结合精密Z向扫描与智能3D建模算法，可实现对纳米至微米级表面形貌的高精度测量，覆盖光滑、粗糙、低反射至高反射等多样化材料表面。广泛应用于半导体、3C电子、汽车零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工领域，助力企业提升质量控制效率与产品研发能力。

中图仪器VT6000系列白光干涉共聚焦显微镜光源采用白光LED，以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度。

VT6000国产共聚焦光学显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。仪器配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000共聚焦显微成像系统是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。