中图仪器VT6000转盘共聚焦光学成像系统以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000共聚焦成像检测系统以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000共聚焦超景深三维显微镜几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全。测量与分析同界面操作，无需切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能。

中图仪器共聚焦扫描显微镜在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000自动三维共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理，结合高稳定性结构设计和优异的3D重建算法，共同组成测量系统，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000共聚焦三维表面形貌测量显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000共聚焦超高分辨率表面分析显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000高分辨率成像共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。横向分辨率高，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。更擅长微纳级粗糙轮廓的检测。