共聚焦显微镜工业测量仪具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

VT6000系列共聚焦成像显微镜系统集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。可对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

共聚焦显微镜利用照明点与探测点共轭特性，可有效抑制同一焦点平面上非测量点的杂散荧光及来自样品中非焦平面的荧光，从而获得普通光镜无法达到的分辨率。VT6000激光共聚焦扫描显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器VT6000系列3d成像共聚焦测量显微镜在材料生产检测领域中，在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中也具有广泛的应用。例如，钢的铸造组织一般比较粗大，可直接用共聚焦显微镜进行观察，同时可以利用其模拟微合金钢在不同冷却工艺下的凝固以及奥氏体不锈钢的敏化过程，原位观察过程中样品表面的变化及与第二相析出情况。

VT6000系列光学纳米共聚焦显微镜利用照明点与探测点共轭特性，可有效抑制同一焦点平面上非测量点的杂散荧光及来自样品中非焦平面的荧光，从而获得普通光镜无法达到的分辨率。在相同物镜放大的条件下，共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。

在材料生产检测领域中，VT6000激光共聚焦显微镜在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中也具有广泛的应用。例如，钢的铸造组织一般比较粗大，可直接用共聚焦显微镜进行观察，同时可以利用其模拟微合金钢在不同冷却工艺下的凝固以及奥氏体不锈钢的敏化过程，原位观察过程中样品表面的变化及与第二相析出情况。

VT6000系列3D成像共聚焦显微镜具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能以及自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量。具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

中图仪器共聚焦光学显微镜VT6000以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析。