中图仪器VT6000共聚焦光学测量显微镜​是基于光学共轭共焦原理，以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

中图仪器SuperViewW白光干涉仪摩擦磨损形貌检测仪非接触式扫描测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器NS系列国产探针接触式台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，用于测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。

中图仪器NS系列纳米级高精度台阶仪用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC，集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

中图仪器VT6000材料表面共聚焦测量显微镜是基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析的精密光学仪器，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000激光共聚焦微观几何轮廓测量仪以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等实现器件表面形貌3D测量，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。