SuperViewW1白光测量光学干涉仪用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可以测量可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

以共聚焦技术为原理的VT6000光学共聚焦扫描显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。仪器基于共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；以白光干涉技术为原理，可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量。能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器VT6000共聚焦激光扫描显微镜主要采用3D捕获的成像技术，通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力；以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器NS200国产台阶仪采用接触式表面形貌测量，对测量表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。

中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜擅长微纳级粗糙轮廓的检测，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。它是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。