3d白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

VT6000系列3d激光共聚焦显微镜整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，实现了“拎着走”的便携式设计；配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现。

台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。作为一种接触式表面形貌测量仪器，NS系列探针式国产台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

VT6000中图转盘共聚焦显微镜具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

CHOTEST中图仪器SuperViewW1三维白光干涉表面形貌仪集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌，可以快速获取被测工件表面三维形貌和数据进行检测，可用于成品质量的管理，确保良品合格率。

3d共聚焦激光显微镜能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。它具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。借助共聚焦显微镜，能有效提高工作效率，实现更准确的操作。