中图仪器白光干涉仪

中图仪器白光干涉仪是一款用于精密器件及材料表面的亚纳米级测量的检测仪器。只需要操作者装好被测工件，在软件里设好视场参数，把物镜调节到被测工件表面，选择自动聚焦后，仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像，一键输出反映工件表面质量的2D、3D参数，完成工件表面形貌一键测量。

工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

标准配置

可选配置

应用领域

可广泛应用于微机电、为纳米材料、光学加工、超精密加工、3C电子、半导体等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。

应用案例

对各种产品、部件和材料表面的平面度、面形轮廓、腐蚀情况、粗糙度、台阶高度等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器白光干涉仪数秒内，可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。“见一叶而知深秋，窥一斑而见全豹" 这句话用来形容中图仪器在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。