激光干涉仪机床精度测试

激光的高方向性、高相干性和高单色性特点，使其具有普通光源所没有的优势。以激光干涉技术为核心，SJ6000激光干涉仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出，并且干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响，保证了干涉光路稳定可靠。

产品参数

技术参数

产品特点

1）测量精度高

2）检测功能多

3）可设定补偿方式，自动生成报表

4）具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能

5）内置多种机床检验标准

6）可选择手动或自动对波长进行环境补偿

7）安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

激光干涉仪的主要的应用之一就是机床精度检测。SJ6000激光干涉仪可以通过与不同的光学组件结合，对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm，可以满足现在所有类型数控机床精度检测，它可以弃普通车间进行应用，具有更强的环境适应能力，同时可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。

SJ6000激光干涉仪机床精度测试的案例

1、检测五轴机床旋转轴精度

测量系统：激光头+角度干涉镜+角度反射镜

旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上，该组件可以绕中心自身旋转。在测量时，待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后，转台组件会沿着其逆方向精确地旋转该角度，例如待测轴沿正方向旋转15°，由于误差的存在，则可能旋转（15+ Δ）°；此时，转台组件会沿着逆方向精确旋转，即沿负方向精确旋转 15°，这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差 Δ就是旋转轴的定位误差。

2、直线度测量

在直线度测量过程中，可以由直线度干涉镜或直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量，但为了提高测量的准确度和精度，一般都采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动。SJ6000直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。

SJ6000激光头出射后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜种，镜直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，有光电探测器、分析器完成计数和测量。如机器轴直线度误差的测量（数控机床、坐标测量机等），由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等，会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲或直线度的情况，并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。

测量机床直线度

3、垂直度测量

如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。

典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。

测量机床垂直度

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