SJ6000激光干涉仪光学测量仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。

SJ6000数控机床激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

中图仪器SJ6000超精密双频激光干涉仪使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)。集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。

除了环境适应能力好，SJ6000超精密激光干涉仪在动态测量软件配合下还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。配备了EC20环境补偿单元，由环境补偿主机（内置湿度传感器和气压传感器）、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成，可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。

SJ6000光学激光干涉测量仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。

中图仪器SJ6000机床测量用激光干涉仪测量过程全自动化，效率高。仪器集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。

SJ6000工业激光干涉仪的静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

SJ6000激光干涉仪测量设备测量精度高、速度快，稳定性好，配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；应用范围广，可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测，结合软件系统，也可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析，实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析。