PLR3000光纤激光干涉尺分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
PLR3000工业激光尺测量仪具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点。可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量
PLR3000超高分辨率激光尺分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
PLR3000高精准度激光尺测量仪支持单轴至多轴测量。相比传统钢带尺或玻璃光栅,光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点。分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
PLR3000光纤激光尺测量仪分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
PLR3000精密激光尺测量仪分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。